用于制造半导体装置的组合物、包含该组合物的半导体装置制造设备及半导体装置制造方法

实施方式提供了一种用于制造半导体装置的组合物，该组合物包含乙炔和用于溶解乙炔的溶剂。该组合物包括基于总重量的小于2,000 ppm的水，并且可以应用于半导体装置的制造工艺及半导体装置制造设备。