掩模用组合物以及刻蚀加工用掩模

提供一种关于能够形成膜更厚的掩模的掩模用组合物的技术。本发明的一个方式为掩模用组合物。该掩模用组合物具有金属氢氧化物和溶剂。所述金属氢氧化物分散或溶解于所述溶剂。