基板处理装置以及基板处理装置的控制方法

本发明涉及一种基板处理装置以及基板处理装置的控制方法。基板处理装置1包括：获取包含复数片基板W的形状的信息的基板形状信息的映射传感器43等、具有手部51的搬运机器人IR、以及控制部。控制部81在支撑基板W的手部51在容纳架C内移动时，以以下方式控制手部51的速度以及加速度。控制部81使用基板形状信息，获取基板W的厚度，基于厚度，计算第一基板的重量，根据第一基板的重量，决定支撑第一基板时的手部的速度以及加速度。控制部81使用所决定的速度以及加速度，使支撑第一基板的手部在第一插槽内移动。