静电卡盘装置

一种静电卡盘装置，其具备：基体，其俯视呈圆形，由介电材料形成并支承板状试样；及静电吸附用电极，其设置于基体的内部，基体具有：多个凸部，其从基体的上表面向上方突出地设置，并以上端支承板状试样；及除电部，其从基体的上表面突出至与凸部相同高度而设置，基体的上表面在俯视时从基体的内周侧连续至基体的外缘，除电部具有：导电部件，其埋设于基体中，并沿厚度方向贯通基体；及带状导电膜，其覆盖导电部件的上端而设置，导电膜的俯视面积为基体的俯视面积的20%以下，静电吸附用电极的俯视面积为基体的俯视面积的80%以上，导电膜具有外周膜，所述外周膜沿俯视时的基体的外缘设置，外周膜设置于比外缘更靠内侧的位置。