一种MPCVD单晶金刚石表面清洁设备及其方法

本发明公开了一种MPCVD单晶金刚石表面清洁设备及其方法，属于金刚石制备清洁技术领域。本发明采用T字形台板，集成高温酸洗池、纯水喷淋池、两级超声清洗池及专属擦拭工位，搭配溶剂自动回收组件。设备设置可平移、升降、旋转的机械转运结构，配备带分格隔断的镂空网篮，可批量隔离放置24‑48颗金刚石。本发明采用高温高酸清洗、纯水喷淋、低腐蚀超声擦拭、纯水超声清洗的四步工艺，实现高酸溶剂无接触自动回收，规避人工操作安全隐患。本发明可完成金刚石批量清洁，提升作业效率与安全性，清除金刚石表面杂质，清洗质量稳定，适配MPCVD单晶金刚石规模化生产使用。