一种金刚石晶种的清洗方法

本申请涉及晶种清洗技术领域，具体公开了一种金刚石晶种的清洗方法，包括以下步骤：晶种装载，低频超声清洗，高频超声多级漂洗，深度酸洗，终漂洗与IPA自动干燥；所述深度酸洗分为两阶段；第一阶段采用复合酸洗液在90‑110℃下酸洗15‑20min；第二阶段采用硫酸‑硝酸混合液在150‑250℃下酸洗15‑20min；其中，所述复合酸洗液包含以下含量的组分：硫酸20‑30wt%、亚铁盐0.5‑2wt%、络合剂0.5‑3%，余量为水；所述硫酸‑硝酸混合液中，浓硫酸和浓硝酸的体积比为（4‑9）:1。本申请提供的金刚石晶种的清洗方法能够提高金刚石晶种的洁净度，降低晶种破损率，进而能显著提升后续CVD生长的晶体均匀度与品质。