一种抗沉降型研磨液及其制备方法

本申请涉及研磨液领域，尤其是涉及一种抗沉降型研磨液及其制备方法。本申请在水基研磨液的基础上，通过咪唑类离子液体的加入，在保持其整体润湿性和分散性的同时，降低了研磨和使用过程中气泡的生成，使体系可以兼顾防沉降性能的同时减少气泡的生成，提供了更好的研磨效果稳定性、更低的气泡生成性能以及对工件、设备以及环境更友好的性质。