一种(TiAlCrZrWMo)-Si-N高熵陶瓷纳米复合涂层及其制备方法和应用

本发明提供了一种(TiAlCrZrWMo)‑Si‑N高熵陶瓷纳米复合涂层及其制备方法和应用，属于材料科学与表面工程技术领域。本发明提供的制备方法包括：在基体表面进行磁控溅射，得到(TiAlCrZrWMo)‑Si‑N高熵陶瓷纳米复合涂层。本发明制备的涂层通过多主元成分设计与Si诱导的纳米复合结构的协同作用，实现了高硬度、良好弹性模量、优异断裂韧性与热稳定性的统一，本发明制备的涂层的硬度在23.43GPa以上，弹性模量在266.95GPa以上，断裂韧性在1.88MPa·m以上。