一种石墨烯异质结的制备方法、石墨烯异质结及其应用

发明提供了一种石墨烯异质结的制备方法、石墨烯异质结及其应用，包括：将衬底放置在等离子体辅助化学气相沉积系统的石英管中；对所述石英管抽真空，然后通入保护气体，并将所述衬底加热至T1；关停保护气体，然后向所述石英管内通入流量为S1的甲烷，同时开启等离子体源，并且将射频功率设定为P1，以在所述衬底上生长石墨烯基体，其中石墨烯基体的生长时间为K1；关停甲烷，并且关闭等离子体源，同时将所述衬底加热至T2；向所述石英管内通入流量为S2的甲烷和流量为S3的氨气，并且开启等离子体源，同时将射频功率设定为P2，以使所述石墨烯基体生长并转化为氮掺杂石墨烯，其中石墨烯基体的生长时间为K2。