一种热沉材料的自适应清洁方法及系统

本申请提出了一种热沉材料的自适应清洁方法及系统，包括：获取待清洁热沉的结构特征、材质特征、加工工序参数、污染特征；通过惰性气体离子束剥离待清洁热沉表层的嵌入式杂质；确定电场分区方案与电极对位参数并施加清洁液；向各分区施加脉冲电场，诱导清洁液中与杂质结合形成的配位络合物发生原位微爆；对完成原位微爆的热沉进行漂洗和干燥处理。本申请通过惰性气体离子束能量参数精准剥离表层嵌入式杂质的同时避免损伤基材本体，结合清洁液与靶向电场诱导配位络合物发生原位微爆剥离无机杂质，在保障热沉基材完好的前提下实现全域深度除污，显著提升热沉清洁均匀度与洁净水平，保证高端电子器件用热沉的散热性能与长期使用可靠性。