复合电极的尺寸检测方法、装置、系统、制备方法及电极

本发明实施例公开一种复合电极的尺寸检测方法、装置、系统、制备方法及电极。复合电极包括层叠设置的表面电极层和至少一层覆盖电极层，覆盖电极层在表面电极层的正投影区域落入表面电极层的区域范围内。该方法包括获取复合电极沿第一方向的尺寸信息；第一方向为复合电极的待测尺寸的延伸方向。获取复合电极沿第一方向的各处的厚度信息。根据厚度信息之间的差异，确定表面电极层的正投影区域覆盖覆盖电极层区域的边缘处。根据边缘处的位置信息和复合电极的尺寸信息，确定复合电极的覆盖电极层的待测尺寸。本实施例提供的技术方案实现了对位于复合电极的下层位置的覆盖电极层的覆盖尺寸检测，提高了复合电极的良率。