一种用于深腔尺寸测量的接触-非接触复合测头

本发明公开了一种用于深腔尺寸测量的接触‑非接触复合测头，包括推杆机身、回转机构和复合测头。所述推杆机身的动力输出端连接至回转机构一端，所述复合测头与回转机构的另一端连接。推杆机身、回转机构和复合测头三级串联布局，使推杆提供平面位移、回转机构提供角度调整、复合测头执行测量，整体结构紧凑，满足狭窄腔口的通过性要求。所述复合测头包括接触式测头和光学模块组件，所述接触式测头设置于复合外壳的径向外壁。接触式测头与光学模块组件集成于同一复合测头，两套测量系统共用同一坐标参考系，单次进腔即可完成从光学粗扫到接触精测的完整检测流程；接触式测头侧置于径向外壁，避免与光学模块光路发生空间干涉。