一种晶圆面型扫描方法、装置、电子设备以及介质

本申请提供了一种晶圆面型扫描方法、装置、电子设备以及介质，其中，该方法包括：获取晶圆面型扫描的起始位置和结束位置，确定扫描距离；根据扫描距离，判断其是否满足预设的从扫描起始速度加速至最大允许扫描速度并减速回扫描起始速度的行程条件；若满足行程条件，则确定采用由加速段、匀速段和减速段构成的三段式变速扫描轨迹；若不满足行程条件，则确定采用由加速段和减速段构成的两段式变速扫描轨迹；基于所确定的轨迹段数，采用多项式轨迹规划算法，生成对应的多项式变速扫描轨迹，以控制运动台在扫描区域内进行变速扫描。通过本申请，在运动台行程受限时，缩短了晶圆面型扫描的测量时间，提高了产率。