可编程时延双光梳皮秒超声薄膜厚度测量系统

本发明公开了一种可编程时延双光梳皮秒超声薄膜厚度测量系统，涉及涉及超快光学检测、皮秒超声薄膜测量及电控光学采样技术领域。数字锁相时间编程控制模块，用于通过数字鉴相获得两列脉冲之间的实时相位差；双光梳光源模块，用于输出泵浦脉冲和探测脉冲；泵浦‑探测光路模块，用于将泵浦脉冲和探测脉冲聚焦至待测薄膜；数据采集模块，用于接收所述探测光并转换为探测电信号；数据处理模块，用于将每个探测值或每组探测值与对应的采集时间、实时重频和实时重频差关联；基于所述等效皮秒时间轴，从探测信号中提取声学特征时间，并结合材料参数计算薄膜厚度。所述系统能够提高目标声学时间窗口的测量速度，并解决等效皮秒时间轴重构失真。