一种MOCVD加热器电阻发热丝质量检验方法及测量装置

本发明涉及一种MOCVD加热器电阻发热丝质量检验方法及测量装置。该方法包括：在环境温度T下使用数字电桥测试仪测量电阻发热丝的电阻值或电感值，获得电阻或电感测量值；将电阻或电感测量值修正至参考温度20℃下的等效电阻值或等效电感值；计算理论电阻值或理论电感值；将等效电阻值与理论电阻值比较或将等效电感值与理论电感值比较确定相对偏差；根据相对偏差与预设阈值范围的比较结果评估发热丝质量。该测量装置包括数字电桥测试仪及第一和第二测试线，分别连接H端与发热丝一端、L端与发热丝另一端形成测试回路。本发明实现了对发热丝内部微观组织和绕制工艺缺陷的非破坏性、高精度、全长度量化评估，操作便捷，适用于批量快速筛查。