一种SiC纤维增强金属基复合材料先驱丝体积分数监测系统与方法

本发明属于金属基复合材料制备技术领域，具体说是一种SiC纤维增强金属基复合材料先驱丝体积分数监测系统与方法，包括：基体标样单元，设置于磁控溅射设备的镀膜工作区域内，并位于先驱丝样品附近；电阻计，设置于磁控溅射设备外部，通过屏蔽电缆与基体标样单元电连接，用于实时测量基体标样单元的电阻值；设备控制系统，分别与电阻计和磁控溅射设备的控制端信号连接，用于采集分析所述电阻计的检测数据，计算镀层厚度及先驱丝体积分数，并向磁控溅射设备传输反馈控制信号。本发明整个监测过程不接触先驱丝样品、不破坏镀层表面状态，属于无损监测，避免了需截取样品进行破坏性检测所带来的样品损耗和制备周期延长问题。