一种MEMS加速度计及地震检波器

本申请属于MEMS器件领域，具体公开了一种MEMS加速度计及地震检波器，MEMS加速度计包括：传感结构和可动质量块；传感结构，包括：若干第一极板对；每个第一极板对包括一个与所述可动质量块连接的动极板和一个固定极板；动极板和固定极板上均设置有等间隔分布的一组凸起结构，相邻两个凸起结构之间形成一个凹陷结构，凸起结构的顶部和凹陷结构的底部均为平面且相互平行；凸起结构的截面呈矩形或梯形；所述动极板的凸起结构与固定极板的凹陷结构沿着MEMS加速度计敏感轴的方向正对设置。通过本申请，利用尖端电荷集中的原理，极大地提高传感结构的电容位移灵敏度。