一种自动拉平与测量步距同步进行的方法

本发明公开了一种自动拉平与测量步距同步进行的方法，包括自晶圆装载开始，路径规划模块读取拉平点与步距参考点坐标集合，将其映射至同一晶圆坐标系并建立控制点模型；将标定过程划分为四个阶段，生成阶段性访问序列并转换为含运动姿态与Z轴动作时序运动指令；卡盘按指令依次移动至各目标点，视觉系统拍摄并输出像素坐标，记录机械坐标；实时采集偏差与接触状态反馈，当偏差超阈值或接触异常时，对后续路径进行在线调整；遍历完成后，基于同批数据并行计算拉平矩阵与步距修正系数，一次性写入运动控制器。本发明将拉平与步距测量融合为一次遍历，减少卡盘无效移动，实现视觉数据复用与参数同步生效，缩短准备时间，提高标定精度与检测稳定性。