光学干涉滤光器

在一些实施方式中，光学干涉滤光器包括：基板；以及被设置在基板上的层集合，其中层集合包括：层的第一子集；以及层的第二子集；其中：层的第一子集中的每一层包括氮化铝（AlN）材料，层的第一子集中的每一层的应力在‑1000和800兆帕之间，层的第一子集具有第一折射率，该第一折射率具有第一值，层的第二子集中的每一层包括至少一种其它材料，层的第二子集具有第二折射率，该第二折射率具有不同于第一值的第二值，并且光学干涉滤光器具有大于或等于第一值和第二值中的最高值的95%的有效折射率。