一种LCOS无机取向膜及其镀膜方法

本发明公开了一种LCOS无机取向膜及其镀膜方法，包括：S1：基板粗处理；S2：基板精处理；S3：打底层蒸镀；S4：复合膜层蒸镀；S5：无机取向膜层蒸镀。通过在打底层上蒸镀第一膜层与第二膜层交替叠加的复合膜层结构，形成高效增反膜系，能够提高入射光利用率，进而提升LCOS显示器的亮度与对比度，而且不同材料、不同密度的膜层交替叠加，可以打断单一膜层连续生长带来的应力累积，降低了整体膜层的内应力，让无机取向膜结构更稳定，可以实现均匀的液晶取向，有效提高了图像均匀性。