基板支撑构件、载台设备、光刻设备和物品制造方法

本公开提供一种基板支撑构件，其被配置为支撑基板，所述基板支撑构件包括：基座；第一环形凸部，所述第一环形凸部设置在所述基座上；多个凸部，所述多个凸部设置在所述基座的第一环形凸部内侧的区域中并且被配置为支撑所述基板；以及第二环形凸部，所述第二环形凸部设置在所述基座的内侧区域中并且围绕延伸穿过所述基座并与大气环境连通的孔，其中所述第二环形凸部的上表面的高度低于所述多个凸部的上表面的高度。