一种扫描电镜图像的模板匹配方法、装置、设备、介质和程序产品

本申请涉及半导体检测设备技术领域，特别是涉及一种扫描电镜图像的模板匹配方法、装置、设备、介质和程序产品。所述方法包括：将模板图像和目标图像分别输入至预训练的双分支网络；基于卷积神经网络前端提取底层视觉特征，基于转换编码器对底层视觉特征进行编码，得到模板特征序列和搜索特征序列；将模板特征序列和搜索特征序列拼接，并输入至转换编码器，生成模板增强特征以及搜索增强特征；以搜索增强特征作为查询特征，以模板增强特征作为键特征和值特征，通过交叉注意力机制计算匹配响应图；根据匹配响应图确定模板图像在目标图像中的定位匹配信息。采用本方法能够针对SEM图像特性进行专门设计、能够在保证匹配精度的同时保持轻量化运行。