一种用于微纳结构的电子束加热处理方法及系统

本发明涉及电子束加热技术领域，具体涉及一种用于微纳结构的电子束加热处理方法及系统。所述方法包括将样品置于真空样品台上，对真空室抽真空；启动电子源，产生聚焦电子束；设定目标区域内的目标能量密度分布；根据所述目标能量密度分布，计算电子束在所述目标区域内各位置处的扫描速度数据组，所述扫描速度数据组中包含各扫描点的位置坐标及对应的期望扫描速度。本发明采用变速连续扫描方式替代传统的跳跃式扫描，电子束在扫描路径上连续运动、无驻留停顿，避免了电子束在高速运动和静态驻留间的频繁大幅度切换，显著降低了工程实现难度，可实现更高精度的扫描电子束预设运动过程的加载。