基于电热协同反馈机制的单片集成宽带太赫兹波产生装置及方法

本发明公开了基于电热协同反馈机制的单片集成宽带太赫兹波产生装置及方法，该装置包括：在水平结构上集成有并联的多个分布式反馈激光器单元、多级合束器以及半导体光放大器；分布式反馈激光器单元在垂直方向上由下至上叠层设置衬底、缓冲层、下限制层、多量子阱有源层、上限制层、光栅层、腐蚀阻挡层、波导层和接触层；上限制层为经阻抗设计的p型包层，其具有受控的掺杂浓度剖面，分布式反馈激光器单元在注入电流驱动下，激射波长通过电流引起的热效应实现连续热致调谐。本发明解决了因单个激光器波长调谐范围不足而导致输出太赫兹频率存在频谱盲区、无法实现宽带连续调谐问题。