半导体量测设备定位误差的补偿方法及相关产品

本发明提供了一种半导体量测设备定位误差的补偿方法及相关产品。补偿方法包括间隔地持续获取工件台的多个运动参数；将多个运动参数输入定位误差模型，由定位误差模型分析历次输入的多个运动参数，输出工件台当前位置的定位误差；基于定位误差模型输出的定位误差，对工件台进行运动补偿，直至移动至目标位置。本方法实现了实时、动态地补偿多个轴运动系统之耦合定位误差，提升了半导体量测设备的定位精度。