静电吸盘解吸附方法

本申请公开了一种静电吸盘解吸附方法，包括：通过静电吸盘施加第一电压，将形成有背封层的晶圆吸附固定；进行薄膜沉积，在晶圆正面形成金属薄膜；对静电吸盘执行阶梯式降压，将第一电压逐步降低至0V，在阶梯式降压过程中，采用导热气体对晶圆进行吹扫降温；执行解吸附操作，晶圆与静电吸盘分离。有利于在薄膜沉积后充分释放晶圆背封层与静电吸盘界面处的残留电荷，有效消除残余静电引力，从而避免解吸附操作中晶圆因静电引力而发生位置偏移。