薄膜的检测方法以及薄膜生产设备

本发明公开了一种薄膜的检测方法以及薄膜生产设备，所述薄膜的检测方法包括以下步骤：在薄膜制备前，将基材转移至质量测量模块上，测得基材的质量，记为初始质量；在薄膜制备后，将含有薄膜的基材转移至质量测量模块上，通过质量测量模块测得含有薄膜的基材的质量，记为总质量；计算所述总质量与所述初始质量之间的差值，将所述差值记为所述薄膜的质量；根据预设的所述薄膜的质量与薄膜的厚度之间的对应关系，将所述薄膜的质量转换为所述薄膜的质量换算厚度；判断所述质量换算厚度是否落入预设厚度范围内，若是，则判定所述薄膜合格；若否，则判定所述薄膜不合格。本发明能够对每一薄膜产品的在线全检与无损评估。