微机电系统开关及其制备方法

本发明提供一种微机电系统开关及其制备方法，微机电系统开关包括衬底基板、设置于衬底基板上的信号传输线和驱动电极，以及设置于信号传输线上的膜桥，其中，信号传输线包括间隔设置的第一传输线和第二传输线，第二传输线具有第一接触部；膜桥的固定端与第一传输线连接；膜桥的自由端设置有第二接触部；第一接触部具有第一凹凸结构，第二接触部具有第二凹凸结构，第一凹凸结构与第二凹凸结构被设置为在驱动电极被施加驱动电压的情况下接触配合。