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案件記録

用于将底涂液和树脂受控施加到基板上以进行卷对板纳米压印的方法及系统

発明不明
25請求項 · 13 独立
§ Ⅰ

案件概要

発明者

J·T·A·克尔克尔斯; J·M·特默伦

出願日

Feb 19, 2025

公開日

Oct 20, 2026

IPC分類

G03F 7/00 (2006.01)B05C 5/02 (2006.01)

本发明涉及一种用于卷对板纳米压印中将底涂液和树脂受控施加到基板上的方法,包括以下步骤:通过喷涂将至少一种底涂液施加到至少一个基板上,随后通过液滴布放将至少一种树脂施加到所述至少一个基板上,其中所述至少一种底涂液以第一预定图案施加到所述至少一个基板上,并且所述至少一种树脂以第二预定图案施加到所述至少一个基板上,其中所述第二预定图案的至少一部分与所述第一预定图案重叠。

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