路由腔室

本公开案的实施方式包括腔室。此腔室大体包括主体及经配置为耦接到此主体的顶部的盖组件。此盖组件大体包括外壳，此外壳包括在第一方向上对准的第一磁浮致动器组件、在第二方向上对准的第二磁浮致动器组件及多个顶部传感器，其中此第一方向不同于此第二方向。此盖组件大体亦包括经配置为耦接到此外壳的膜，所述膜包括经配置为接收此第一磁浮致动器组件、此第二磁浮致动器组件及此些顶部传感器的多个凹部。