一种CVD上电极板精准钻孔工装

本发明公开了一种CVD上电极板精准钻孔工装，涉及CVD上电极板钻孔领域，包括存储箱，所述存储箱上固定安装有多个均匀分布的升降滑杆，所述存储箱的中部设有承载板，所述承载板和存储箱之间固定连接有密封胶圈，所述存储箱的一侧固定安装有输送管道，所述存储箱的内部靠近输送管道的一侧固定安装有多个第一支撑件；存储箱的内部远离输送管道的一侧固定安装有多个第二支撑件，本装置通过设置承载板、第一支撑件和第二支撑件，在进行钻孔作业的时候能够从电极板下方穿过钻孔然后冲走钻孔内以及电极板表面残留的碎屑，防止钻孔时自上而下的冷却液裹挟碎屑形成糊状物在重力的作用下堵塞钻孔的情况发生，保证加工精度。