一种晶圆处理设备、空气洁净度控制方法和空气清洁系统

本发明提供一种晶圆处理设备、空气洁净度控制方法和空气清洁系统，设备包括：第一模块至第四模块，各个模块依次相连且各自的清洁度要求顺序降低；分别安装于各个模块的内部空间的传感器，实时检测对应模块的颗粒物浓度；分别安装于各个模块顶部的风扇单元，在第一模块至第三模块为向模块内吹风，在第四模块为向模块外吹风，以使得气体在各个模块的内部空间顺序流动；控制器，接收各个模块的颗粒物浓度，判断各个模块是否符合各自的清洁度要求，根据包括不符合清洁度要求的模块在内的至少一个模块的颗粒物浓度以及对应的清洁度要求，调节对应的至少一个风扇单元的风量。本发明的设备能够实现空气清洁度实时检测和多模块联合动态调节。