真空腔室生产转运用防划擦机械手

本发明属于真空设备转运机械手技术领域，且公开了真空腔室生产转运用防划擦机械手，包括机械手，所述机械手上安装有定位防划组件和加固组件，所述机械手上安装有清洁组件，本发明通过定位防划组件可通过电磁滑动结构精准调节夹垫间距，适配不同规格真空腔室，同时柔性圆角防滑夹垫可稳定夹持工件，避免表面划伤，加固组件依托电动导轨驱动夹垫自适应贴合腔室轮廓，与主夹垫形成多点均衡夹持结构，分散局部压力，杜绝压痕、细微划擦等损伤，夹持作业前，清洁组件可通过带微粘胶层的高吸附清洁棉，清除腔室表面硬质粉尘碎屑，避免夹持摩擦造成漆面、精面损伤，清洁后可自动避让不干扰作业，实现对工件运转时，防止划损效果。