一种腔壁稳定化方法及去胶设备

本申请实施例公开了一种腔壁稳定化方法及去胶设备，包括：提供工作侧表面具有阳极氧化铝层的内衬件；对阳极氧化铝层的表面进行封孔处理；将内衬件安装在腔体的内壁上，并对阳极氧化铝层的表面进行活化处理；在阳极氧化铝层的表面上反应形成界面复合锚定层；在界面复合锚定层的表面上反应形成第一非晶碳三维交联聚合物层；对第一非晶碳三维交联聚合物层进行等离子退火封键处理；对第一非晶碳三维交联聚合物层进行热弛豫固化处理；执行腔体待机。本申请能够稳定氢自由基浓度，防止颗粒脱落，提高去胶工艺结果的稳定性。