一种氧气泄漏监测实时监测方法及系统

本发明涉及一种氧气泄漏监测实时监测方法及系统，属于半导体工艺技术领域，包括下列步骤：步骤一：在反应腔中设置氧气传感器；步骤二：对反应腔进行抽真空，并执行生产工序；步骤三：氧气传感器采集氧气数据并上传至控制模块，控制模块获取生产工序中狭缝阀开闭的时间戳，统计狭缝阀打开并关闭时的时间段，记为切割时间段；步骤四：控制模块生成氧气数据随时间变化的序列，并将切割时间段以内的数据剔除；步骤五：控制模块判断剔除后的序列中氧气浓度是否超过阈值，并在超过阈值时发出警报。