晶圆检测系统和方法

本申请涉及一种晶圆检测系统和方法。包括：光源模块用于输出连续的泵浦光；转换模块包括非线性晶体，转换模块用于通过非线性晶体将泵浦光转换为闲频光和信号光；闲频光为中红外光，用于照射待测晶圆；反射模块用于反射信号光和泵浦光，以进入转换模块；转换模块还用于通过非线性晶体将反射的泵浦光转换为新的信号光，新的信号光与发射的信号光发生信号干涉；探测器用于在探测到干涉信号的情况下，将干涉信号转换为探测数据；工控机与光源模块、运动台和探测器电连接，用于控制光源模块输出连续的泵浦光，控制运动台运动，并根据探测数据，确定待测晶圆的晶圆检测结果。具有高分辨率、低成本的特点，满足半导体先进制程需求。