一种拉曼光谱-场效应晶体管双模式生物传感器及其制备方法与应用

本发明公开了一种拉曼光谱‑场效应晶体管双模式生物传感器及其制备方法与应用，属于生物传感器技术领域。该生物传感器从下向上依次包括硅基（Si）衬底、二氧化硅（SiO）介质层、碳纳米管（CNT）沟道层、漏极电极和源极电极、氧化钇（YO）栅介质层、栅极电极、延栅和溶液栅极。本发明将“延栅”与“表面增强拉曼光谱（SERS）热点”集成于同一芯片，实现快速、多靶、高准确率和特异性的术中前哨淋巴结活检，为乳腺癌精准手术提供低成本、易普及的方案，亦可扩展至肺癌、胃癌等实体瘤快速分子诊断。