一种等离子体与材料相互作用及原位综合测试系统

本发明公开了一种等离子体与材料相互作用及原位综合测试系统，属于核聚变技术领域，包括：离子辐照系统，包括离子辐照室、离子源及质谱仪；设于离子辐照系统内部的材料测试系统；阀门组，连接离子辐照系统与抽气管；搭载偏滤器部件的部件测试系统；抽气管，其径向一侧设部件馈入管，部件测试系统通过该管与抽气管相连；等离子体作用系统，包括部件作用真空室、材料作用真空室及设于材料作用真空室端部的等离子体源；超导磁体，同轴套设于等离子体作用系统外部；设于材料作用真空室端部的探针系统；各系统依次真空密封连接。本发明能够测试材料样品或者部件样品在等离子体或者离子束作用后原位测试其材料结构和成分改变。