一种阳极靶盘放气检测装置和检测方法

本申请提供一种阳极靶盘放气检测装置及方法，用于阳极靶盘整体或其组成部件进行放气性能评估。装置包括石英钟罩、载物平台、真空系统、真空规、中频感应加热线圈及质谱仪。石英钟罩与载物平台形成密闭检测腔室，真空系统维持高真空环境，中频感应加热线圈环绕石英钟罩外周且可升降，以实现非接触式快速加热并调节耦合效率。经保温、冷却完成一个循环。全程通过真空规监测真空度变化，质谱仪分析气体成分及分压，依据循环次数、峰值压强、异常气体及特征分压等判定工件是否合格。本申请可在装管前独立、准确检测靶盘及其部件的放气特性，缩短检测周期，降低整管测试干扰，为材质优化与工艺改进提供直接依据。