FIB制备薄片的方法

本公开提供一种FIB制备薄片的方法，包括：原始样品旋转为共轴角度，聚焦离子束的入射方向垂直于原始样品表面；利用聚焦离子束切割原始样品，获取初始样品，具有第一切割面和第二切割面，顶部表面；将初始样品固定于载网的支撑壁上；调整载网角度，或者，调整FIB机台的倾斜角度，使得初始样品旋转为共轴角度；利用聚焦离子束切削第二切割面，得到具有第一侧面的初始薄片；调整载网角度，使顶部平面与电子束的入射角度垂直；利用SEM成像，测量第一侧面的第一高度、顶部宽度和底部宽度；利用三角函数关系计算出补偿角度，共轴角度加/减补偿角度，得到修正角度。采用上述方案，能够提高薄片的厚度均匀性。