用于清洁终点检测装置的光学镜片、制备方法及检测装置

本发明涉及半导体检测技术领域，公开了一种用于清洁终点检测装置的光学镜片、制备方法及检测装置，包括：透明基层；第一离子注入改性层，通过离子注入工艺形成于透明基层接触半导体工艺气体的工作表面上；补偿层，包括堆叠设置的多个第一周期性膜层，第一周期性膜层中第一材料层的折射率大于第二材料层的折射率；多个第二离子注入改性层，形成于补偿层中；热致动调节层，也设置在补偿层中，热致动调节层包括堆叠设置的多个第二周期性膜层，第二周期性膜层包括第三材料层和第四材料层，第三材料层的热膨胀系数大于第四材料层的热膨胀系数。本发明可以提升镀膜的附着力、光学镜片的抗腐蚀性、透射均匀性并有效避免应力开裂。