一种悬浮共线式掺钪氮化铝声光调制器及其制备方法

本发明提供一种悬浮共线式掺钪氮化铝声光调制器及其制备方法，涉及压电声光器件技术领域。该声光调制器包括由下至上依次层叠的Si层、SiO层和AlScN层，AlScN层经部分刻蚀形成波导结构，波导结构侧方的AlScN层表面设有聚焦叉指换能器，波导结构的输入端和输出端分别设有光学耦合结构，AlScN层上开设有纳米孔，波导结构下方的部分SiO层被去除形成悬浮结构。本发明中AlScN同时作为压电材料和光波导材料，聚焦叉指换能器激发沿波导方向传播的声波与光波共线传播，在悬浮结构增强声场约束的作用下实现高效声光耦合和光学模式转换。