一种提高膜厚仪作业效率的方法

一种提高膜厚仪作业效率的方法，步骤包括：获取双口加工膜厚仪两个作业口的故障率信息；根据故障率信息，从两个作业口中确定故障率较高的作业口和故障率较低的作业口；禁用故障率较高的作业口，保留故障率较低的作业口作为唯一作业口；对外挂于膜厚仪的设备前端模块进行参数调整，使设备前端模块适配于仅通过唯一作业口进行作业的模式；通过唯一作业口进行膜厚检测作业。通过对双口加工膜厚仪的两个作业口进行故障率统计分析，舍弃故障率较高的作业口而仅保留故障率较低的单个作业口进行作业，并从源头上减少了因高故障率作业口频繁出现故障而导致的整体作业异常情况，降低了异常发生的频次；简化异常处理的步骤并缩短故障处理时间。