一种基于模态稀疏重构的晶圆减薄过程全场应力在线感知方法与系统

本发明公开了一种基于模态稀疏重构的晶圆减薄过程全场应力在线感知方法与系统，所述方法包括：利用本征正交分解从历史数据中提取空间基函数并构建基函数矩阵；在减薄过程中通过少量传感器实时采集稀疏应力观测值；以观测值与基函数子矩阵的线性组合误差最小且系数稀疏为约束，求解稀疏重构优化问题得到主导模态系数；将系数与完整基函数矩阵线性组合，瞬时重构全场应力分布；基于重构应力及不确定性量化信息进行异常判定与预警。本发明能在极少量传感器下实现全场应力实时感知，同时输出置信度评估，有效支撑减薄工艺的在线监测与闭环控制。