边界信息确定方法及装置、电磁场分析及形貌量测方法

本申请公开了一种边界信息确定方法及装置、电磁场分析及形貌量测方法，属于半导体检测技术领域。该方法包括：根据待测结构确定目标构建块组，并确定所述目标构建块组中每个构建块对应的函数集；基于所述目标构建块组对所述待测结构进行分段，得到至少一个分段结构，每个分段结构中包括至少一个构建块的整体或部分；对每个分段结构执行边界信息确定步骤。本申请能够通过对线单元进行处理从而处理构建块之间曲面边界交叠问题，能够快速准确地确定复杂的待测结构的边界信息，在应用中可更好地适配半导体复杂工艺场景，真实反映待测结构的几何形状的变化趋势与分布特征。