一种适用于半导体光刻机的高耐久拖链电缆及其制备工艺

本发明公开了一种适用于半导体光刻机的高耐久拖链电缆及其制备工艺，属于特种柔性电缆技术领域。该电缆由内至外依次包括动力芯线、信号芯线、中间屏蔽层、外屏蔽层和外护套层；其中，中间屏蔽层采用石墨烯导电布，外屏蔽层为双层镀锡铜丝编织层，外护套层材料包含PVC树脂、自主合成的长链非邻苯类增塑剂及其他助剂。本发明通过多层复合屏蔽结构，解决了传统电缆动态弯折下屏蔽效能衰减的问题；采用自制含P‑N协同阻燃体系的增塑剂改性PVC护套，显著提升了电缆柔顺性、抗疲劳老化性和阻燃性能。本发明制得的电缆适用于光刻机高频往复拖链运动工况，具有重要应用价值。