一种薄膜太阳能电池柔性衬底及其制备方法

本发明公开一种薄膜太阳能电池柔性衬底及其制备方法，制备方法包括：在GaAs衬底上生长倒装的外延层、在外延层上蒸镀金属薄膜；在金属薄膜表面旋涂光刻胶进行光刻图形化工艺，露出无光刻胶覆盖的区域为图形区域；在金属薄膜表面上生长金属厚膜，金属厚膜填充图形区域并覆盖光刻胶顶部，光刻胶之间位于图形区域上的金属厚膜部分形成金属支撑柱，金属厚膜的其他部分形成金属盖板；去除金属厚膜与金属薄膜之间的光刻胶，相邻金属支撑柱之间形成中空隔离道，进而形成中空复合金属结构，所述中空复合金属结构作为太阳电池的柔性衬底，在保证衬底机械支撑性能的前提下，解决现有技术热膨胀系数失配、柔性与强度的矛盾问题。