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案件記録
超导传输线及其制备方法、电子设备及计算机可读介质
発明不明
17請求項 · 5 独立
§ Ⅰ
案件概要
IPC分類
H10N 60/01 (2023.01)H10N 60/83 (2023.01)
本申请提供了一种超导传输线及其制备方法、电子设备及计算机可读介质,超导传输线及其制备方法包括:控制在第一硅晶圆的第一表面上形成第一地平面层,控制将第一地平面层临时键合至载片;控制从第一硅晶圆的第二表面对第一硅晶圆进行减薄形成第一超薄硅介质层;控制在第一超薄硅介质层的第二表面形成信号层;控制将第二硅晶圆的第一表面和第一超薄硅介质层的第二表面键合,使信号层位于第一超薄硅介质层的第二表面和第二硅晶圆的第一表面之间;控制从第二硅晶圆的第二表面对第二硅晶圆进行减薄形成第二超薄硅介质层;控制在第二超薄硅介质层的第二表面上形成第二地平面层;控制将第一地平面层和载片解键合,得到超导传输线。
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