一种晶圆清洗装置

本发明公开了一种晶圆清洗装置，其包括：箱体；夹持组件，设置于箱体中，用于夹持并驱动晶圆旋转；清洗刷，连接于摆臂端部并随其移动，以清洁晶圆；调节组件，与摆臂连接并调整其位姿，使得清洗刷的移动轨迹与晶圆形变相匹配。