一种掉硅托盘

本发明公开了一种掉硅托盘，具体涉及半导体设备传送安全技术领域，包括防掉落检测联锁单元，所述防掉落检测联锁单元包括关键到位检测器和联锁控制模块。本发明中，即使托盘在传送过程中因阻力、偏斜、停靠位置误差或导向间隙等原因仅局部进入升降机构，并误触发原有第一到位检测器，联锁控制模块仍可根据关键到位检测器未输出真实到位信号而判定托盘未被可靠承托，从而禁止翻转轨道放下和/或禁止升降机构下降。多点检测与真实到位确认方式能够有效弥补原局部检测方式容易误判的缺陷，避免托盘在未完全放置到升降机构上的情况下继续执行后续动作，显著降低托盘掉落、硅片破损及现场安全风险，提高APCVD设备托盘传送过程的可靠性。